Sol-gel vrstvy jako nástroj pro modifikaci povrchových\nl{} struktur optických komponent.

Bc. Maxim Savelov

Diplomová práce

Sol-gel layers as a tool for modification of surface structures of optical components.

Anotace:

Tato diplomová práce pojednává o problematice, spojené s přípravou co možná nejhladšího povrchu metodou sol-gel. Součástí práce je podrobná rešerše, zahrnující nejnovější poznatky, týkající se vlivů, působících na výslednou mikrostrukturu povlaku. Věnuje se také studiu působení teploty a parametrům depozice, které silně ovlivňují výslednou tloušťku a index lomu vrstvy. V praktické části je věnována pozornost především přípravě tenkých vrstev metodou sol-gel, vycházející ze základních solů křemičitého a titaničitého alkoxidu. Pro jednotlivé experimenty byly měněny parametry nanášeného solu a depozice. Velký důraz je zde kladen na hodnocení vrstev z hlediska mikrostruktury a tloušťky. Také byl prozkoumán dopad nízkoteplotní kalcinace (do 250 °C) na konečné vlastnosti filmu.

Abstract:

This thesis deals with the problems associated with the preparation of the as smooth as possible surface using sol-gel method. The work includes detailed research, including the latest findings regarding influences acting on the resultant microstructure of the coating. It is also studying the effect of temperature and deposition parameters, which strongly affect the final thickness and refractive index layer. The practical part is devoted to preparing thin films by sol-gel, based on fundamental sols prepared from silica and titanium alkoxide. For individual experiments were changed parameters of the coating sol and deposition. Great emphasis is placed on the evaluation of layers especially their microstructure and thickness. Also was investigated the impact of low-temperature calcination (250 °C) on the final film properties.

Klíčová slova

sol-gel, mikrostruktura, elipsometrie, interferometrie v bílém světle

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 12. 5. 2015

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 16. 6. 2015
• Vedoucí: Ing. Jan Václavík

Technická univerzita v Liberci

Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií

Magisterský studijní program / obor:
Nanotechnologie / Nanomateriály